﴿من شر﴾: جار ومجرور متعلقان بـ﴿أعوذ﴾، وشر مضاف.

﴿ما﴾: اسم موصول مبني على السكون في محل جر مضاف إليه، والعائد محذوف، أي: من شر الذي خَلَقَهُ. أو أن ﴿ما﴾ مصدرية تؤول وما بعدها بمصدر في محل جر مضاف إليه، أي: من شر خَلْقِه.

﴿خلق﴾: فعل ماض مبني على الفتح، وفاعله ضمير مستتر تقديره هو عائد على ﴿رب الناس﴾. وجملة ﴿خلق﴾ صلة ﴿ما﴾ لا محل لها من الإعراب.